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三次元怎么做儀器校準？計量校準內(nèi)容有哪些？
2022-12-01 11:00
由于側重點不同，各國制造商和計量標準部門對三坐標測量機提出了幾種儀器校準標準。在各國的標準之中，推薦的標準裝置并不完全相同，可根據(jù)測量的目的和要求進行選擇。
標準三坐標測量機的標定所使用的標準裝置有很多種。在周期性儀器校準中，通常使用的標準裝置是雙屏激光干涉儀、量塊和步距規(guī)。檢驗中常用的標準有量塊、階梯量規(guī)、球板、孔板、標準球、球棒、環(huán)形量規(guī)、三維標準等。常用的儀器校準標準介紹如下。
1.球板
標準規(guī)范之中引入了球板，作為評定長度測量不確定度的可選工具。其優(yōu)點是操作簡單快捷，可追溯性強。球板是一個二維標準，它比一維標準能獲得更豐富的信息。例如，如果測量具有25個球的球板，可以獲得300個長度測量。值，兩個相交的測量對一個球棒與25個球?qū)е?00測量。三坐標測量機的所有幾何參數(shù)都可以通過測量球面中心間的距離來計算。球板的校準方法并不復雜，但儀器校準的不確定度比量塊差，且球板的最大和最小長度尺寸受到限制。球盤是精度較低的中小型三坐標測量機的可選標準。
以球板為標準，通過計算點棟距離來校準長度測量指示的誤差。
常用的球板有5排5列，240mmx240mm，332mmx332mm，532mmx532mm。最大的球板可以做成1mx1m，有17排x17列標準球。球板采用鋼制，標準球采用陶瓷材料制成，采用液氮冷卻技術夾緊固定。標準球在球棒的兩邊都可以檢測到。
2.雙頻激光干涉儀
雙頻激光干涉儀是一種高精度、便攜式干涉儀。由于其抗干擾能力強，結構緊湊，信號穩(wěn)定，不僅可以在實驗室條件之下使用，也可以在車間使用。其測量長度可達十幾米甚至幾十米。此以外，它還有著廣泛的應用。除了儀器校準長度之外，如果配備相應的光學附件，還可以測量直線度、小角度、平面度、速度、平行度等。也可用于校準三坐標測量機。三個運動方向的垂直度等。是精密機械、造船、飛機制造業(yè)進行大規(guī)模精密測量不可缺少的精密儀器，其技術已相當成熟。
雙頻激光干涉儀的特點是測量精度高，儀器固有的系統(tǒng)誤差僅為0.1μm（L為測量長度，單位為m），測量范圍大，測量數(shù)據(jù)豐富，適用于測量三坐標測量機的各種幾何誤差。但該設備價格昂貴且需要專用設備，技術性強，對操作人員要求高，耗時長，且測量任務無法直接追溯到源頭。更適用于三坐標測量機的出廠驗收試驗，和大型三坐標測量機示值誤差的附加儀器校準。
3. 量塊
儀器的量塊是儀器校準三坐標測量機示值誤差最常用的物理標準。其優(yōu)點是適用范圍廣，安裝操作方便，可追溯性強，準確度高。缺點是測量時間長，最大測量長度僅為1m。
用量塊測量時，需將選定的不同長度的量塊安裝在專用的支架之上，使量塊的方向與被測軸線或空間方向一致。特殊支架之上有可調(diào)節(jié)的支撐點。安裝量塊時，應注意將量塊支撐在0.2113L的支撐位置。（L是量塊的長度），以確保量塊的兩個測量表面相互平行。
在測量結果之中應引入標準量塊修正量和溫度偏離20°C時的溫度修正量。
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