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激光干涉儀在計(jì)量校準(zhǔn)中，常用于哪些方面？
2022-12-02 09:31
激光干涉儀是用光波為基礎(chǔ)載體，以激光為長(zhǎng)度基準(zhǔn)的高精度、高靈敏度的檢測(cè)儀器。激光干涉儀不但廣泛用于數(shù)控機(jī)床、激光切割機(jī)、光刻機(jī)等高端設(shè)備，還能用于計(jì)量校準(zhǔn)領(lǐng)域。今天華中航就為大家介紹幾種普遍的案例。
1.成像儀的定位精度的測(cè)量
傳統(tǒng)化成像儀檢測(cè)方式是使用線性比例尺比較法開展的，具有檢測(cè)精度低、測(cè)量系統(tǒng)偏差大、欠缺原因分析功能、改進(jìn)措施有偏差、檢測(cè)效率低等現(xiàn)象。激光干涉儀適合于快速檢測(cè)成像儀的定位誤差，計(jì)算和分析測(cè)量數(shù)據(jù)，并通過該軟件制作補(bǔ)充文件，快速實(shí)現(xiàn)二維平面多點(diǎn)補(bǔ)充，可大幅度降低設(shè)備制造環(huán)節(jié)的精確度計(jì)量校準(zhǔn)難度，提升計(jì)量校準(zhǔn)效率和補(bǔ)充效率。
2.測(cè)量三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的示值誤差
伴隨著三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)技術(shù)上的更新和進(jìn)步，使用傳統(tǒng)化量塊和球板可能很難達(dá)到大型三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的檢測(cè)需求。激光干涉儀檢測(cè)精度高，檢測(cè)范圍大，測(cè)量數(shù)據(jù)豐富?？捎糜跍y(cè)量三坐標(biāo)系的幾何誤差。
3.長(zhǎng)度測(cè)量機(jī)計(jì)量校準(zhǔn)
傳統(tǒng)化長(zhǎng)度測(cè)量機(jī)的示值誤差主要通過量塊做好計(jì)量校準(zhǔn)，受環(huán)境因素影響較大，對(duì)計(jì)量校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)要求嚴(yán)格，而檢測(cè)范圍超過1米的長(zhǎng)度測(cè)量機(jī)須要分段校準(zhǔn)，這也是低效率的，而使用激光干涉儀做好校準(zhǔn)，不但可以提升效率，也可以通過環(huán)境補(bǔ)充單元對(duì)空氣溫度、壓力、濕度和物料溫度進(jìn)行補(bǔ)償，提升計(jì)量校準(zhǔn)精確度。
4.位移傳感器驗(yàn)證
用激光干涉儀對(duì)位移傳感器做好計(jì)量校準(zhǔn)已成為了一種發(fā)展方向，特點(diǎn)是檢測(cè)精度高、響應(yīng)速度快、有利于數(shù)字化測(cè)量。在測(cè)量之中建立一個(gè)精密導(dǎo)軌，然后把反射鏡和被測(cè)傳感器放一起做好同步檢測(cè)，從而產(chǎn)生對(duì)比。位移傳感器自動(dòng)檢定系統(tǒng)和SJ6000激光干涉儀（標(biāo)準(zhǔn)）對(duì)定長(zhǎng)位移進(jìn)行了測(cè)試和對(duì)比，取得往復(fù)試驗(yàn)實(shí)驗(yàn)結(jié)果。
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